·  在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到 Class 100；

·  全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；

·  采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng) H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過(guò)濾效率 99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)；

·  強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能 P.I.D 溫控系統(tǒng)，得到**溫度控制精度