設(shè)備特點(diǎn)：

1.        采用兩套獨(dú)立的電腦控制機(jī)械臂自動(dòng)化作業(yè)；

2.        各槽配置獨(dú)立拋動(dòng)系統(tǒng)，增加硅片和溶劑的摩擦。

3.        各槽配置鼓泡管路，均采用PFA材質(zhì)管件制作。

4.        酸槽配置冷卻盤管，降低酸溶劑蒸發(fā)量；設(shè)置脊型缸蓋，杜絕酸蒸汽釋放到空氣中，缸蓋上設(shè)有噴淋系統(tǒng)。

5.        設(shè)備槽體均采用PVDF 6mm板材制作，耐酸堿性強(qiáng)。

6.        采用第三代**，全面完善的防酸防腐措施，保護(hù)到機(jī)器每一個(gè)角落。

7.        **全自動(dòng)補(bǔ)液技術(shù)，做到集中供酸和排放。配置接水盤，防止槽體漏液污染車間環(huán)境。

8.        獨(dú)特的硅片干燥前處理技術(shù)，**硅片干燥不留任何水痕。

9.        成熟的硅片干燥工藝，多種技術(shù)集于一身。

10.    彩色大屏幕人機(jī)界面操作，方便參數(shù)設(shè)置及多工藝方式轉(zhuǎn)換

11.    售后服務(wù)：保修期一年，提供終身維護(hù)。