電子無(wú)塵車(chē)間要求：

潔凈室(區(qū))設(shè)計(jì)時(shí)，空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài))應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。

各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定；無(wú)要求時(shí)，可按本規(guī)范附錄A確定。

潔凈室(區(qū))的溫度和相對(duì)濕度應(yīng)按表3．2 3確定。

潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級(jí)和布置要求分為隧道式、開(kāi)放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。

電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。

潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí)，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。

有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開(kāi)設(shè)置：

1 運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同；

2 生產(chǎn)過(guò)程中散發(fā)的物質(zhì)對(duì)其他工序、設(shè)備交叉污染，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響；

3 對(duì)溫、濕度控制要求差別大；

4 潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊；

5 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)；

6 系統(tǒng)風(fēng)量過(guò)大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。

潔凈室(區(qū))內(nèi)的溫度、相對(duì)濕度應(yīng)符合本規(guī)范第3．2．3條的規(guī)定。

潔凈室(區(qū))的清掃方式應(yīng)根據(jù)潔凈廠(chǎng)房的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)等因素確定。潔凈室(區(qū))宜采用移動(dòng)式高效真空吸塵器。對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)為1～5級(jí)的潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)，潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷。

氣流流型的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：

1 氣流流型應(yīng)滿(mǎn)足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)的要求。空氣潔凈度等級(jí)為1～5級(jí)時(shí)，應(yīng)采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級(jí)為6～9級(jí)時(shí)，宜采用非單向流；

凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠(chǎng)房的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時(shí)，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)，

潔凈廠(chǎng)房的潔凈室(區(qū))送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，采用運(yùn)行經(jīng)濟(jì)、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。

多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時(shí)運(yùn)行或較大型電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)，應(yīng)集中處理。

風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：

1 應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)和送風(fēng)量選用；

2 應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對(duì)氣流流型的要求布置；

3 終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；

4 送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié)；

5 應(yīng)便于安裝、維修及過(guò)濾器更換。滿(mǎn)布或布置率較高時(shí)，外殼強(qiáng)度應(yīng)滿(mǎn)足檢修要求。

層流罩的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：

1 潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴(yán)于5級(jí)的局部?jī)艋瘏^(qū)域宜采用層流罩；

2 層流罩的形式和進(jìn)風(fēng)方式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備需要選用；

3 終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；

4 安裝方式不應(yīng)影響生產(chǎn)操作。

潔凈室(區(qū))的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：

1 應(yīng)防止室外氣流倒灌；

2 含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按其物理化學(xué)性質(zhì)采取相應(yīng)防火防爆措施；

3 局部排風(fēng)系統(tǒng)排出的有害氣體，當(dāng)其有害物質(zhì)濃度超過(guò)排放標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應(yīng)滿(mǎn)足國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)排放標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定；

4 對(duì)含有水蒸氣或凝結(jié)物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置坡度及排放口；

5 排風(fēng)介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時(shí)，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)和處理設(shè)備，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；

6 排風(fēng)介質(zhì)中含易燃、易爆等危險(xiǎn)物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時(shí)，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；

7 排除有爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，其風(fēng)量應(yīng)按在正常運(yùn)行和事故情況下，風(fēng)管內(nèi)爆炸危險(xiǎn)氣體和粉塵的濃度不于爆炸下限的20％計(jì)；

8 排除有爆炸危險(xiǎn)氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置消除靜電的接地裝置。

凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管、配件、過(guò)濾器以及密封材料等，應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈度要求確定，并不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。

在集中設(shè)置的空氣過(guò)濾器的前后，應(yīng)設(shè)置測(cè)壓孔或指針式壓差計(jì)。在新風(fēng)管、送風(fēng)、回風(fēng)總管段上，應(yīng)設(shè)置風(fēng)量測(cè)定孔。

風(fēng)管附件及輔助材料的防火性能，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作，但接觸腐蝕性介質(zhì)的風(fēng)管和柔性接頭可采用難燃防腐材料制作；

2 排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作；

3 附件、保溫材料和消聲材料等均應(yīng)采用不燃材料或難燃材料。