熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)有哪些區(qū)別以及使用方法

熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)主要的區(qū)別在于：氣體質(zhì)量流量控制器可以通過(guò)自身帶的閥門(mén)做PID調(diào)節(jié)程序，能夠自動(dòng)的調(diào)節(jié)和控制閥門(mén)的開(kāi)度，來(lái)達(dá)到控制氣體的質(zhì)量流量。氣體質(zhì)量流量計(jì)主要是通過(guò)傳感器，感應(yīng)氣體的流量大小，并輸出到數(shù)據(jù)采集器。熱式氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)的**優(yōu)點(diǎn)就是檢測(cè)出來(lái)的實(shí)際數(shù)據(jù)，不會(huì)受到溫度和壓力的影響，實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)用戶也無(wú)需在進(jìn)行溫度和壓力補(bǔ)償?shù)膿Q算。

質(zhì)量流量控制器（MFC）由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門(mén)和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大, 放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源、數(shù)字電壓等。

LF系列的氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)主要用于：擴(kuò)散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及真空鍍膜設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)等制造設(shè)備中，并廣泛應(yīng)用于石油化工、制藥、冶金等行業(yè)。