產(chǎn)品信息：

在實際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試的探針臺相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實用，成本較低的簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺，探針座，四維調(diào)整載片臺（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；    

創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺，以達到更好得使用效果和性價比。

技術(shù)參數(shù)：

◆結(jié)構(gòu)緊湊，功能實用，高性價比

◆可用于12寸以內(nèi)樣品測試

◆1微米以上電極/PAD使用

◆兼容高倍率電子顯微鏡/體式顯微鏡，可360°旋轉(zhuǎn)和微調(diào)升降

◆漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內(nèi)）

◆精密絲杠/燕尾傳動結(jié)構(gòu)，線性移動，無回程差設(shè)計

◆應(yīng)用于高等院校/研究所/公司實驗室使用

◆模塊化設(shè)計，可以根據(jù)應(yīng)用增加和去除相應(yīng)模塊

◆多被用于晶圓測試、LED測試、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、太陽能電池片測試、材料表面電阻率測試等；