產(chǎn)品信息：

在實際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試的探針臺相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實用，成本較低的簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺，探針座，四維調(diào)整載片臺（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；    

創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺，以達(dá)到更好得使用效果和性價比。

技術(shù)參數(shù)：

◆樣品臺XYZR四維調(diào)節(jié)，XY行程根據(jù)樣品臺尺寸/晶圓尺寸而定，Z軸行程10mm，XYZ整體分辨率3μm，360°旋轉(zhuǎn)粗調(diào)可鎖緊

◆兼容多種光學(xué)顯微鏡，可以引入光路，完成光電mapping測試    

◆整體尺寸小，方便攜帶，底部隔振地腳，提高測試穩(wěn)定性

◆漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內(nèi)）

◆探針采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌/精密燕尾槽，線性移動，無回程差設(shè)計

◆1微米以上電極/PAD使用

◆U型探針架，可以放置多個探針座

◆多被用于晶圓測試、LED測試、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、太陽能電池片測試、材料表面電阻率測試等；廣泛用于科研院校以及公司！