超純水處理設備，采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎**去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。

超純水處理設備又稱超純水機，超純水設備，超純水儀，超純水系統，實驗室超純水器等。

隨著科學技術的不斷進步，我國藥典對**用水的法定制備方法進行了重新定義。因其使用的范圍不同而分為純化水、注射用水及滅菌注射用水，首次將過去的蒸餾水改為純化水，并且對純化水具體定義為"純化水為采用蒸餾法、離子交換法、反滲透法或其它適宜的方法制得供藥用的水"。

工藝描述：預處理系統通常包括石英砂過濾器，活性炭過濾器，必要時還可以采用軟化器，各設備能夠自動進行臭氧水反沖洗，自動排放;輔助設備有自動加藥系統，臭氧發生投加系統。其主要功能:**在不同的進水情況，使得二級RO系統獲得一個穩定、合格的的進水水質。

優勢：超純水設備工藝技術與傳統的蒸餾法相比較，超純水設備用反滲透法為基礎再聯合了**電去離子(EDI)技術的新工藝具有明顯的優越性和**性。