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六氟化硫化學性質穩定。微溶于水、醇及醚,可溶于氫**。不與氫氧化鈉、液氨及鹽酸起化學的反應。300℃以下干燥環境中與銅、銀、鐵、鋁不反應。500℃以下對石英不起作用。250℃時與金屬鈉反應,-64℃時在液氨中反應。與硫化氫混合加熱則分解。200℃時,在特定的金屬如鋼及硅鋼存在下,能促使其緩慢分解。