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江蘇朗拜恩環(huán)保設(shè)備有限公司
主營(yíng):廢氣處理一體機(jī); 塔式/旋轉(zhuǎn)式RTO; 直燃式TNV/TO; 濃縮轉(zhuǎn)輪外殼; 過(guò)濾箱; 活性炭箱; 洗滌塔; 管道閥門; 節(jié)能換熱器; 
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電子 半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備 濃縮轉(zhuǎn)輪 RTO 活性炭吸附

2021年08月18日收藏舉報(bào)編輯打印
電子 半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備 濃縮轉(zhuǎn)輪 RTO 活性炭吸附
價(jià)格: 面議
起批量: 1 件起批
區(qū)域: 江蘇 南通 如東縣
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電子半導(dǎo)體廢氣  濃縮轉(zhuǎn)輪  RTO焚燒設(shè)備  
聯(lián)系人: 周** 先生
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詳細(xì)介紹
 電子半導(dǎo)體廢氣包括集成電路測(cè)試與封裝,光罩制作)、電路模塊、微處理機(jī)、微處理器、半導(dǎo)體記憶體記憶零組件、新型電子元器件、新型平板顯示器件;半導(dǎo)體元器件材料的開(kāi)發(fā)生產(chǎn)。

廢氣排放濃度達(dá)到江蘇省《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》DB32/3747-2020 和《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB16297-1996中的要求。主要設(shè)備包含:一次側(cè)風(fēng)機(jī)、二次風(fēng)機(jī)、過(guò)濾器、濃縮轉(zhuǎn)輪、脫附風(fēng)機(jī)、TNV、換熱器、風(fēng)管、控制系統(tǒng)、煙囪等。
  廢氣風(fēng)量和濃度數(shù)據(jù)

序號(hào)

廢氣源

風(fēng)量

溫度

相對(duì)濕度

濃度

處理方式

m3/h

%

mg/m3

1

Module A

80000

~25

~60

200

廢氣濃度為企業(yè)提供參考濃度,后期可進(jìn)行檢測(cè),廢氣經(jīng)過(guò)轉(zhuǎn)輪濃縮后再進(jìn)入TO進(jìn)行處理

2

module B+C

80000

~25

~60

200

3

合計(jì)

160000

 

 

 

 

1.1.1 廢氣成分及性質(zhì)

根據(jù)企業(yè)提供的廢氣參數(shù)計(jì)算得出廢氣濃度及廢氣成分占比如下:

表 廢氣成分占比

廢氣成分

各成分占比

各成分濃度(mg/m3)

異丙醇

68%

136

2-氨基乙醇

8%

16

乙二醇

7%

14

異丙醇胺

7%

14

羥胺

7%

14

芳香族溶劑

2%

4

乙酸乙酯

1%

2

合計(jì)

100.0%

200

1.1.1 標(biāo)準(zhǔn)

1、TNV系統(tǒng)熱回收能力≥70%;

2、轉(zhuǎn)輪處理效率≥99%;

3、焚燒系統(tǒng)處理效率>99%;

4、在正常生產(chǎn)時(shí),**終整體系統(tǒng)處理效率≥98%;

5、系統(tǒng)處理后廢氣排放濃度VOC≤30mg/m3, 異丙醇≤20 mg/m3

6.廢氣處理后排放濃度執(zhí)行 DB32 3747-2020 江蘇省《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》,如下表:

污染物名稱

苯系物

異丙醇

非甲烷總烴

**允許排放濃度mg/m3

1

25

40

≤50

 1.1 廢氣處理工藝

1.1.1 工藝流程介紹

對(duì)于企業(yè)生產(chǎn)車間產(chǎn)生的廢氣采用“過(guò)濾+濃縮脫附+氧化燃燒”的處理工藝。低濃度的有機(jī)廢氣先經(jīng)過(guò)二級(jí)過(guò)濾,然后采用沸石做吸附濃縮及脫附處理,吸附后的氣體可以直接排到大氣,沸石在吸附大量的有機(jī)物后需經(jīng)過(guò)高溫氣體進(jìn)行脫附處理,脫附后再進(jìn)入TO做氧化處理。TO凈化了含有碳?xì)浠衔锏墓I(yè)排氣,這些污染物包含了可揮發(fā)性有機(jī)成分(VOCs)以及各種類型的有害污染物(HAPs),TO利用了熱氧化以及熱回收相結(jié)合的方法高效的去除了污染物,同時(shí)也**化的節(jié)省了操作成本。

本項(xiàng)目共有六套廢氣處理系統(tǒng),單套風(fēng)量 40000m3/h。每三套一組分別與原系統(tǒng)銜接。廢氣經(jīng)過(guò)濃縮轉(zhuǎn)輪處理再進(jìn)入TO燃燒處理,處理達(dá)標(biāo)后從 TO排出,由于廢氣排出溫度為~300℃,因此采用余熱回收系統(tǒng)進(jìn)行熱量回收利用,廢氣處理工藝流程圖如下所示:


聯(lián)系方式
江蘇朗拜恩環(huán)保設(shè)備有限公司
聯(lián)系人: 周** 先生  
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傳真:
郵箱: plscalme@163.com
聯(lián)系地址: 江蘇省如東高新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)如東智能制造產(chǎn)業(yè)園朗拜恩智能裝備南門
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