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江蘇朗拜恩環保設備有限公司
主營:廢氣處理一體機; 塔式/旋轉式RTO; 直燃式TNV/TO; 濃縮轉輪外殼; 過濾箱; 活性炭箱; 洗滌塔; 管道閥門; 節能換熱器; 
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電子 半導體廢氣處理設備 濃縮轉輪 RTO 活性炭吸附

2021年08月18日收藏舉報編輯打印
電子 半導體廢氣處理設備 濃縮轉輪 RTO 活性炭吸附
價格: 面議
起批量: 1 件起批
區域: 江蘇 南通 如東縣
關鍵詞:
電子半導體廢氣  濃縮轉輪  RTO焚燒設備  
聯系人: 周** 先生
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詳細介紹
 電子半導體廢氣包括集成電路測試與封裝,光罩制作)、電路模塊、微處理機、微處理器、半導體記憶體記憶零組件、新型電子元器件、新型平板顯示器件;半導體元器件材料的開發生產。

廢氣排放濃度達到江蘇省《半導體行業污染物排放標準》DB32/3747-2020 和《大氣污染物綜合排放標準》GB16297-1996中的要求。主要設備包含:一次側風機、二次風機、過濾器、濃縮轉輪、脫附風機、TNV、換熱器、風管、控制系統、煙囪等。
  廢氣風量和濃度數據

序號

廢氣源

風量

溫度

相對濕度

濃度

處理方式

m3/h

%

mg/m3

1

Module A

80000

~25

~60

200

廢氣濃度為企業提供參考濃度,后期可進行檢測,廢氣經過轉輪濃縮后再進入TO進行處理

2

module B+C

80000

~25

~60

200

3

合計

160000

 

 

 

 

1.1.1 廢氣成分及性質

根據企業提供的廢氣參數計算得出廢氣濃度及廢氣成分占比如下:

表 廢氣成分占比

廢氣成分

各成分占比

各成分濃度(mg/m3)

異丙醇

68%

136

2-氨基乙醇

8%

16

乙二醇

7%

14

異丙醇胺

7%

14

羥胺

7%

14

芳香族溶劑

2%

4

乙酸乙酯

1%

2

合計

100.0%

200

1.1.1 標準

1、TNV系統熱回收能力≥70%;

2、轉輪處理效率≥99%;

3、焚燒系統處理效率>99%;

4、在正常生產時,**終整體系統處理效率≥98%;

5、系統處理后廢氣排放濃度VOC≤30mg/m3, 異丙醇≤20 mg/m3

6.廢氣處理后排放濃度執行 DB32 3747-2020 江蘇省《半導體行業污染物排放標準》,如下表:

污染物名稱

苯系物

異丙醇

非甲烷總烴

**允許排放濃度mg/m3

1

25

40

≤50

 1.1 廢氣處理工藝

1.1.1 工藝流程介紹

對于企業生產車間產生的廢氣采用“過濾+濃縮脫附+氧化燃燒”的處理工藝。低濃度的有機廢氣先經過二級過濾,然后采用沸石做吸附濃縮及脫附處理,吸附后的氣體可以直接排到大氣,沸石在吸附大量的有機物后需經過高溫氣體進行脫附處理,脫附后再進入TO做氧化處理。TO凈化了含有碳氫化合物的工業排氣,這些污染物包含了可揮發性有機成分(VOCs)以及各種類型的有害污染物(HAPs),TO利用了熱氧化以及熱回收相結合的方法高效的去除了污染物,同時也**化的節省了操作成本。

本項目共有六套廢氣處理系統,單套風量 40000m3/h。每三套一組分別與原系統銜接。廢氣經過濃縮轉輪處理再進入TO燃燒處理,處理達標后從 TO排出,由于廢氣排出溫度為~300℃,因此采用余熱回收系統進行熱量回收利用,廢氣處理工藝流程圖如下所示:


聯系方式
江蘇朗拜恩環保設備有限公司
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郵箱: plscalme@163.com
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